是自动执行工作的机器装置，可以接受人类指挥，也可以执行预先编排好的程序，是帮助企业实现自动化生产的好帮手。随着工业机器人技术的不断进步，时下的机器人系统具有高效、高精度的特点，系统更加稳定，结构简单更易于维护，可以满足不同种类产品的生产，对用户来说，可以很快进行产品结构的调整和扩大产能，并且可以大大降低产业工人的劳动强度。作为制造商，如果不想被时代的浪潮淘汰，有必要为生产线加入一些自动化生产装置。

　　真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强，其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。而且国外对中国买家严加审查，归属于禁运产品目录，真空机械手已成为严重制约我国半导体设备整机装备制造的“卡脖子”问题。直驱型真空机器人技术属于原始创新技术。

　　洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人，随着生产技术水平不断提高，其对生产环境的要求也日益苛刻，很多现代工业产品生产都要求在洁净环境进行，洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设备。

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